Intel, Samsung y ASML discuten sobre la tecnología y escáneres EUV High-NA: los coreanos no lo ven claro, los azules se lanzan y el fabricante europeo intenta contentar a todos

Llegó como la promesa del futuro, como la tecnología que iba a permitir que los chips siguieran su camino de reducción en sus transistores, y aunque convenció, ha encontrado algunas trabas por parte de grandes empresas internacionales. Con el marco de la conferencia SPIE Advanced Lithography + Patterning en San José, California, los mejores expertos del sector de la litografía se reunieron para discutir cuáles son las perspectivas de la nueva tecnología que acaba de llegar al mercado. Sobre todos ellos hubo unos pocos actores que alzaron la voz: Intel, Samsung y ASML, donde cada uno veía la tecnología High-NA para grabado de chips de forma diferente.

No solo basta con convencer, no solamente hay que demostrar que la tecnología funciona, es apta, segura y con capacidad en volumen, hay otro aspecto clave: costes. Ya hablamos hace unos meses sobre el artículo de SemiAnalysis hacia el último escáner de ASML y cómo la compañía tuvo que ir a defender su apuesta y máquina. Ahora, algunos se posicionan de un lado y otros de otro.

ASML ha escuchado las críticas y necesidades del sector: "Habrá ideas prometedoras"

Una promesa, mucho diálogo y mucho que mejorar, pero curiosamente, no en su nuevo escáner EXE:5000 EUV High-NA. La crítica se centró en la tecnología EUV Low-NA, donde muchas empresas pidieron a la europea aumentar el coeficiente K1, el cual ya hemos tratado varias veces aquí.

ASML ha dicho que están trabajando en un nuevo iluminador para mejorar dicho K1: "No tenemos todas las soluciones, pero tenemos algunas ideas prometedoras", dijo Jan Van Schoot, director de ingeniería de sistemas de ASML.

 

Algunas empresas le pidieron un ancho de banda más pequeño y útil para los escáneres actuales, todo en aras de alargar la vida de estos, a ser posible, durante 20 años en total. El problema, según decía Emily Gallagher de Imec, es que esto choca de frente con el problema del flúor y las emisiones brutales de efecto invernadero que crean estos escáneres en un momento donde las empresas quieren ser cada vez más verdes. Eliminarlo será difícil asegura.

Samsung no lo ve claro y solo piensa en los costes

Es otra mirada hacia EUV High-NA. Los coreanos se sienten cómodos con los escáneres actuales para memoria, al menos, así lo afirma Seog Kang por parte de Samsung. Al mismo tiempo, dijo que estaba algo preocupado por las formas propuestas de extender la tecnología Low-NA frente al impulso de High-NA, puesto que estos nuevos escáneres son extremadamente caros, pesados y grandes: "Como usuario, siempre me preocupa el coste total", dijo.

El problema, según Kang, es que los escáneres Low-NA pueden tener una vida útil mayor en el apartado de los chips y su lógica, pero en SRAM y memoria... "Tienen una gran variedad de células repetidas y por ello, una duración corta de uso".

Intel mira al presente y al futuro sabedor de su privilegiada posición con ASML frente a Samsung para EUV High-NA

Intel, en cambio, está encantada con los nuevos EXE:5000 High-NA, al menos, según dijo Frank Abboud, vicepresidente y director general de operaciones de máscaras de Intel. Igualmente, dadas las poquísimas unidades de estos escáneres en 2024 y las escasas que habrá disponibles en 2025, Intel también trabaja en máscaras de cambio de fase para Low-NA, de manera que puedan lograr lo que hicieron con DUV en estos escáneres: "Hasta ahora parece factible", dijo Abboud.

Además, Intel va a comprar las herramientas de Applied Materials, concretamente, Centura Sculpta Pattern-Shaping para reducir el número de pasos en el grabado de chips con doble patrón en EUV, las cuales han sido implementadas y debutarán con el nodo Intel 20A, lo cual le otorga otra ventaja estratégica y técnica frente a ASML y Samsung.

EUV High-NA, como ya sabemos, llegará con Intel 14A. Como vemos, nadie se pone de acuerdo con estos nuevos escáneres y las miradas están puestas más en mejorar los existentes Low-NA que en comprar los de nueva factura a ASML. Además, Intel tiene un acuerdo para todo 2024 y parte de 2025, donde se quedará la gran mayoría de unidades, así que